Profilometer (AG Schlettwein)
![Profilometer Tencor (AG Schlettwein)](https://www.uni-giessen.de/de/fbz/zentren/lama/Platt/geraete/bilder_geraete/profilometer-foto01/@@images/image-400-1a214f4a91f654226d184380e62e4a96.jpeg)
AG Prof. Dr. Derck Schlettwein
Methodenplattform:
Standort:
Physik-Hörsaalgebäude, Heinrich-Buff-Ring 14, Raum 44
Gerätetyp, Eigenschaften, sonstige Angaben:
Alpha-Step 100 von Tencor Instruments
zur Schichtdicken- und Rauigkeitsbestimmung
Ansprechpartner:
Prof. Dr. Derck Schlettwein
Institut für Angewandte Physik
Physik-Institutsgebäude, Heinrich-Buff-Ring 16, Raum 141
Tel. +49-641-99-33400