Magnetron-Sputteranlage (AG Janek)
Methodenplattform:
Dünnschicht- und Epitaxielabor (DünE)
Standort:
Chemiegebäude, Heinrich-Buff-Ring 17, Raum B 44
Gerätetyp, Eigenschaften, sonstige Angaben:
Surface, mit Glovebox; speziell für die Herstellung von LiPON-Schichten
Ansprechpartner:
Dr. Joachim Sann
Physikalisch-Chemisches Institut
Chemie-Institutsgebäude, Heinrich-Buff-Ring 17, Raum A 13a
Tel. +49-641-99-34506