Juni 2011Seit Anfang Februar steht im Physikalisch-chemischen Institut eine neue Anlage zur gepulsten Laserdeposition (PLD) von Dünnschichten. Die Anlage ist mit zwei Lasern mit verschiedenen Wellenlängen ausgestattet: einem Excimer-Laser im UV-Bereich und einem Neodym-YAG-Laser im Infrarot-Bereich. Neben den verschiedenen Wellenlängen für die Ablation besitzt die Anlage auch zwei Systeme zur Substratheizung, eine Widerstandsheizung und einen Infrarot-Laser zur direkten Heizung der Substratrückseite. Die Targets mit dem Ausgangsmaterial werden auf einem Targetkarussell mit 5 Positionen angebracht und einem vorher programmierten Prozess entsprechend automatisch angefahren. Der Hintergrunddruck wird über Masseflussregler ebenfalls automatisch eingestellt. Durch eine Manipulatorstange können Targets und Substrate direkt aus einer angeschlossenen Handschuh-Box in die Kammer ein- und ausgebaut werden. Somit ist es auch möglich, luftempfindliche Dünnschichten herzustellen. Bild eingereicht von A. Braunhttps://www.uni-giessen.de/de/fbz/fb08/Inst/physchem/janek/gallerypom/pom2011/pomjun11/viewhttps://www.uni-giessen.de/@@site-logo/logo.png
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Juni 2011
Seit Anfang Februar steht im Physikalisch-chemischen Institut eine neue Anlage zur gepulsten Laserdeposition (PLD) von Dünnschichten. Die Anlage ist mit zwei Lasern mit verschiedenen Wellenlängen ausgestattet: einem Excimer-Laser im UV-Bereich und einem Neodym-YAG-Laser im Infrarot-Bereich. Neben den verschiedenen Wellenlängen für die Ablation besitzt die Anlage auch zwei Systeme zur Substratheizung, eine Widerstandsheizung und einen Infrarot-Laser zur direkten Heizung der Substratrückseite. Die Targets mit dem Ausgangsmaterial werden auf einem Targetkarussell mit 5 Positionen angebracht und einem vorher programmierten Prozess entsprechend automatisch angefahren. Der Hintergrunddruck wird über Masseflussregler ebenfalls automatisch eingestellt. Durch eine Manipulatorstange können Targets und Substrate direkt aus einer angeschlossenen Handschuh-Box in die Kammer ein- und ausgebaut werden. Somit ist es auch möglich, luftempfindliche Dünnschichten herzustellen. Bild eingereicht von A. Braun
