Mikro- und Nanostrukturierungslabor
Störungsmeldung
Das JEOL-SEM mit EBL hat ernste Schwierigkeiten, Serviceeinsatz ist angefordert.
Das Mikro- und Nanostrukturierungslabor (Reinraumlabor) ist eine zentrale Einrichtung, die den Nano- und Materialwissenschaften in Mittelhessen eine zeitgemäße Ausrüstung zur Verfügung stellt, mit der
- Nanostrukturen in sogenannter top-down-Technik erzeugt werden können,
- durch Vorstrukturierung von Substraten kontrollierte Bedingungen für die Herstellung von Nanostrukturen in sogenannter bottom-up-Technik definiert werden können und
- die Integration von Nanostrukturen in Bauelementen (Nano-Mikro-Integration) erforscht werden kann.
Auf einer Reinraumfläche von 41 m2 (Reinraumklassen 10000 und 1000) und weiteren Laborflächen bietet das Labor unter anderem folgende Ausrüstung:
- Fotolithografie (Maskaligner MA 56)
- 3D-Mikrolithografie (Zwei-Photonen-Lithografie) mit einem Photonic Professional GT von Nanoscribe (seit 2019)
- Rasterelektronenmikroskop mit Elektronenstrahllithografie (JEOL JSM 7001F, XENOS XeDraw2)
- Aufdampfanlagen (thermisch und Elektronenkanone)
- Strukturübertragung mit Trockenätzen (Reaktivionenätzer) und Naßätzen (Abzug, Naßbänke)
- Profilometrie mit einem Bruker DektakXT.
Das Mikro- und Nanostrukturierungslabor wird betrieben von der Abteilung Mikro-/Nanostrukturphysik des I. Physikalischen Instituts im Rahmen des Zentrums für Materialforschung (ZfM/LaMa). Seit 2012 bilden wir auch Mikrotechnolog/inn/en mit Schwerpunkt Mikrosystemtechnik aus, nach der erfolgreichen Abschlußprüfung im Sommer 2024 haben wir zur Zeit keine laufende Ausbildung. Wann wir wieder eine/n Mikrotechnologen/in ausbilden werden ist noch nicht festgelegt. Unsere Azubis besuchen die länderübergreifende Berufsschulklasse der Andreas-Gordon-Schule in Erfurt.
Die Errichtung und Einrichtung des Reinraumlabors wurde finanziert aus Mitteln der Justus-Liebig-Universität, des NanoNetzwerkHessen und der Bundesrepublik Deutschland (Art. 91b GG). Neben Mitgliedern der Justus-Liebig-Universität Giessen, der Universität Marburg und der Technischen Hochschule Mittelhessen steht das Labor auch anderen interessierten Nutzern, nicht nur aus Hessen, zur Verfügung.