Lehrveranstaltungen
In jedem Wintersemester (voraussichtlich ab 2024: im Sommersemester) beginnt die einführende Vorlesung Grundlagen der Mikro- und Nanostrukturierung am ersten Freitag der Vorlesungszeit um 14:30 Uhr.
Themen dieser Vorlesung sind
- Fotolithografie (planar und 3D)
- CAD für die Lithografie
- Reinraumtechnik
- Strukturübertragung
- Dünnschichttechnologie
- Silizium als Werkstoff
- Elektronenstrahllithografie
Die Vorlesung eignet sich für BSc-Studierende der Physik, Physik und Technologie für Raumfahrtanwendungen und Materialwisenschaften, aber auch für Interessierte aus anderen Fachgebieten, die einen Überblick über die Möglichkeiten der Mikro- und Nanostrukturierung (unter besonderer Berücksichtigung der Möglichkeiten unseres Reinraumlabors) gewinnen möchten.